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臭氧發生器是產生臭氧的機器。發生器是一種空氣或水的凈化裝置。其主要用途是利用臭氧殺滅i菌類，過濾作用的污染物。臭氧發生器是一種內熱式氣相反應器。因為空氣等類似氣體都是不好的導熱體，電暈放電產生的熱量會使氣體溫度升高。較高的溫度會加速臭氧的逆反應，即臭氧被還原成氧氣，從而降低臭氧產量。因此，冷下也是提高發生器效率的一項措施。由于水和油的吸熱系數遠大于空氣，工業發生器一般采用水冷或油冷發生器。由于空氣冷方便易行，這種形式常用于微型臭氧發生器。